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- 硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。体刻蚀加工对基体材料进行加工,而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工；#
体刻蚀加工不对基体材料进行加工,而面刻蚀加工对衬底材料进行加工；
体刻蚀加工可获得高纵横比
- 在机器人控制系统中下列不属于按其控制方式划分的是（）。集中控制方式
主从控制方式
分散控制方式
点位式#
- 光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。下列不是制造自动化分系统的是（）。电子束曝光技术
离子束曝光技术
X射线曝光技术#机械加工系统#
控制系统物
质量保证子系统d.监控系统
- 整体式箱体时应采用的粗基准是（）。顶面
主轴承孔#
底面
侧面
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