[单选题]位错的形成原因是（）。

正确答案 ：C

位错就是由范性形变造成的

[多选题]硅外延生长工艺包括（）。

正确答案 ：ABCD

衬底制备

原位HCl腐蚀

生长温度，生长压力，生长速度

尾气的处理

[单选题]人们规定：（）电压为安全电压.

正确答案 ：A

36伏以下

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