正确答案: ABD

树脂 感光剂 溶剂

题目：光刻胶主要由（）等不同材料混合而成的。

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[多选题]二氧化硅膜的质量要求有（）。

薄膜表面无斑点

薄膜中的带电离子含量符合要求

薄膜表面无针孔

薄膜的厚度达到规定指标

薄膜厚度均匀，结构致密

[单选题]菲克一维扩散定律公式中的J是代表单位面积溶质（）。

传输率