[单选题]在空位扩散中，如果迁移的空位的原子是杂质原子，扩散称为（）。

正确答案 ：B

杂质扩散

[单选题]离子源产生的离子在（）的加速电场作用下得到加速。

正确答案 ：C

加速器

[单选题]由于干法刻蚀中是同时对晶片上的光刻胶及裸露出来的薄膜进行刻蚀的，所以其（）就比以化学反应的方式进行刻蚀的湿法还来得差。

正确答案 ：B

选择性

[单选题]硅晶片上之所以可以产生薄膜，出始于布满在晶片表面的许多气体分子或其它粒子，它们主要是通过（）到达晶片表面的。

正确答案 ：A

粒子的扩散

[单选题]薄膜沉积的机构，依发生的顺序，可以分为这几个步骤。其中不包括（）。

正确答案 ：B

晶粒自旋

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