正确答案: C

散射角

题目：离子散射方向与入射方向的夹角，称为（）。

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学习资料的答案和解析：

[单选题]表示杂质在硅-二氧化硅界面处重新分布的性质和程度，习惯上常用（）。

分凝系数

[多选题]哪种方法可以增加缺陷的积累率而降低临界注入量：（）。

低温注入

分子注入

双注入

[单选题]Torr是指（）的单位。

真空度

[多选题]溅射的方法非常多其中包括（）。

A.直流溅射B.交流溅射C.反应溅射D.二级溅射E.三级溅射