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[多选题]下列有关曝光系统的说法正确的是()。
正确答案 :
ABCE
投影式同接触式相比,掩模版的利用率比较高
接触式的分辨率优于接近式
接近式的分辨率受到衍射的影响
投影式曝光是目前采用的主要曝光系统
[多选题]电气测量仪表若按照电流的种类来分,有()。
正确答案 :
CDE
直流仪表
交流仪表
交直流仪表
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集成电路制造工艺员(三级)题库题库下载排行
下列可作为磷扩散源的是()。
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采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是()的。
对于浓度覆盖很宽的杂质原子,可以采用()方法引入到硅片中。
晶硅栅极刻蚀最大的挑战就是对二氧化硅的高选择性。超薄的()使
人类的职业道德真正形成于()。
下列物质的等离子体适合用以刻蚀铝合金中硅的有()。
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集成电路制造工艺员(三级)题库2022历年考试试题(8J)
早期,研究离子注入技术是用()来进行的。
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