[单选题]晶体中，每个原子在晶格中有一定的平衡位置，原子在此位置时其势能为（）。

正确答案 ：B

极小值

[单选题]当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。开始饱和的注入剂量称为（）。

正确答案 ：A

临界剂量

[单选题]下面那一种薄膜工艺中底材会被消耗（）。

正确答案 ：B

薄膜成长

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