正确答案: C

铝硅铜合金

题目：为了避免（）在经过氯化物等离子体刻蚀之后的残留物使其发生腐蚀，必须在刻蚀完毕之后再增加一道工序来除去这些表面残留物。

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[单选题]通常热扩散分为两个大步骤，其中第一个步骤是（）。

预淀积

[单选题]在将清洗完的硅片放进扩散炉扩散时，需要将硅片先装入（），然后再装入扩散炉。

石英舟

[多选题]晶片经过显影后进行坚膜，坚膜的主要作用有（）。

除去光刻胶中剩余的溶剂

增强光刻胶对晶片表面的附着力

提高光刻胶的抗刻蚀能力

减少光刻胶的缺陷

[多选题]电荷积分仪的基本单元包括（）。

I-V转换

V-f转换

十进制计数电路

控制电路

[多选题]铜与铝相比较，其性质有（）。

铜的电阻率比铝小

铝的抗电迁移能力较弱

铜可以在低温下淀积