正确答案: ABCD

离子、电子 中性原子 分子 自由基

题目：干法蚀刻通常指利用辉光放电方式，产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有（）。

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[单选题]化学沉铜中若要沉厚铜，温度应（）。

加热（35℃以上）

[单选题]化学沉铜是在碱性的介质中进行的，为防止二价铜离子在碱性环境中生成沉淀，需要加入（）。

EDTA-2Na

[单选题]蚀刻后，铜元素的化合价为（）。

＋1