正确答案: ABDE

低电阻率 易与p或n型硅形成欧姆接触 易于光刻 便于进行键合

题目：为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求，金属材料应该满足（）。

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[单选题]在生产过程中必须使用（）来完成浅沟槽隔离STI。

单晶硅刻蚀

[单选题]阳树脂用盐酸做再生液，浓度为（）溶液可用原水配制。

10%