正确答案: A

溅射率

题目：（）是指每个入射离子溅射出的靶原子数。

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[单选题]薄膜沉积的机构，依发生的顺序，可以分为这几个步骤。其中不包括（）。

晶粒自旋

[单选题]真空蒸发又被人们称为（）。