正确答案: C

溅射

题目：用高能粒子从某种物质的表面撞击出原子的物理过程叫（）。

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学习资料的答案和解析：

[单选题]早期，研究离子注入技术是用（）来进行的。

重离子加速器

[单选题]下面那一种薄膜工艺中底材会被消耗（）。

薄膜成长

[多选题]清洁处理主要使用的是（）。

水

有机溶剂

碱

酸

盐酸

[单选题]阳树脂用盐酸做再生液，浓度为（）溶液可用原水配制。

10%

[单选题]沾污引起的电学缺陷引起（），硅片上的管芯报废以及很高的芯片制造成本。

成品率损失