正确答案: BCD

B、扩散泵 C、坩埚盘 D、晶振头

题目：下列哪些部件在机器运行时需要冷却水？（）

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学习资料的答案和解析：

[单选题]流程卡表面质量

A、点子大小

[单选题]镀650±10IR-CUT滤色片，请问镀出在哪个波长范围内合格（）。

B、640~655nm

[多选题]真空室内部清扫不干净，可能会导致以下哪些结果？（）

A、机器抽速慢

B、产品表面质量差

C、机器效率降低

D、分光特性不重复

[多选题]真空度不对会导致以下哪些结果（）。

A、整罩分光特性超差

B、均匀性不好

D、膜层牢固度不好