正确答案: ABCDE

CA光刻胶对深紫外光吸收小 CA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化 CA光刻胶在显影液中的可溶性强 有较高的光敏度 有较高的对比度

题目：在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，它的优点在于（）。

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学习资料的答案和解析：

[单选题]钠、钾等大离子在二氧化硅结构中是（）杂质。

间隙式

[多选题]有关光刻胶的显影下列说法错误的是（）。

负胶受显影液的影响比较小

正胶的曝光区将会膨胀变形

使用负胶可以得到更高的分辨率

[单选题]溅镀法，因为其阶梯覆盖的能力不良，很容易造成因填缝不完全所留下的（）。

空洞

[单选题]（）是通过把被蒸物体加热，利用被蒸物在高温时的饱和蒸汽压来进行薄膜沉积的。

蒸镀

[多选题]溅射的方法非常多其中包括（）。

A.直流溅射B.交流溅射C.反应溅射D.二级溅射E.三级溅射

[单选题]沾污引起的电学缺陷引起（），硅片上的管芯报废以及很高的芯片制造成本。

成品率损失