[单选题]半导体硅常用的施主杂质是（）。

正确答案 ：D

磷

[单选题]硅晶片上之所以可以产生薄膜，出始于布满在晶片表面的许多气体分子或其它粒子，它们主要是通过（）到达晶片表面的。

正确答案 ：A

粒子的扩散

[单选题]真空镀膜室内，在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板，用来（）。

正确答案 ：B

控制蒸发的过程

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