[多选题]（）的方法有利于减少热预算。

正确答案 ：AE

高压氧化

等离子增强氧化

[多选题]下列组合中哪一种基本上用于刻蚀前者的干刻蚀法大都可以用来刻蚀后者（）。

正确答案 ：AE

二氧化硅氮化硅

铝硅

[多选题]薄膜沉积的机构包括那些步骤（）。

正确答案 ：ABCDE

形成晶核

晶粒成长

晶粒凝结

缝道填补

沉积膜成长

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