正确答案: AB

电阻加热 电子束

题目：按蒸发源加热方法的不同，真空蒸发工艺可分为：（）蒸发、（）蒸发、离子束蒸发等。

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学习资料的答案和解析：

[单选题]位错的形成原因是（）。

位错就是由范性形变造成的

[多选题]硅外延片的应用包括（）。

二极管和三极管

电力电子器件

大规模集成电路

超大规模集成电路

[单选题]在温度相同的情况下，制备相同厚度的氧化层，分别用干氧，湿氧和水汽氧化，哪个需要的时间最长？（）

A、干氧