正确答案: ABCDE

生长的二氧化硅薄膜均匀性好 生长的二氧化硅干燥 生长的二氧化硅结构致密 生长的二氧化硅是很理想的钝化膜 生长的二氧化硅掩蔽能力强

题目：干氧氧化法具备以下一系列的优点（）。

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[单选题]如果磷在二氧化硅中扩散，对扩散率影响最大的因素是：（）。

浓度

[多选题]离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。

砷化氢

二硼化氢

四氟化硅

三氟化磷