正确答案: B

非结晶形态

题目：采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是（）的。

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[多选题]干氧氧化法具备以下一系列的优点（）。

生长的二氧化硅薄膜均匀性好

生长的二氧化硅干燥

生长的二氧化硅结构致密

生长的二氧化硅是很理想的钝化膜

生长的二氧化硅掩蔽能力强

[单选题]光刻工艺中，脱水烘焙的最初温度是（）。

150－200℃