[单选题]point defect的意思是（）。

正确答案 ：A

点缺陷

[单选题]下列关于曝光后烘烤的说法正确的是（）。

正确答案 ：B

烘烤可以减轻曝光中的驻波效应

[单选题]（）是测量在刻蚀过程中物质被移除的速率有多快的一种参数。

正确答案 ：A

刻蚀速率

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