正确答案:

题目：普通加热工艺镀制的薄膜微观结构是柱状结构，为了改善膜层结构，提高聚集密度，分别出现了三种成膜工艺（）、（）、（）。

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[多选题]提高膜层聚集密度工艺有（）。

A、提高离子源功率

D、提高温度