正确答案: A

正确

题目：换过防污板之后不烘烤就可以上片，这样可以节省时间.

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[多选题]提高膜层聚集密度工艺有（）。

A、提高离子源功率

D、提高温度

[单选题]在相同光斑大小和蒸发速率的情况下，AL2O3电子枪功率（）SiO2电子枪功率

A、大于