正确答案: A

150－200℃

题目：光刻工艺中，脱水烘焙的最初温度是（）。

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[单选题]一般分析扩散系数，考虑两种条件，即恒定表面浓度条件和（）。

恒定总掺杂剂量

[单选题]在靶片前方设一抑制栅，作用是将（）抑制回去，从而保证测量的准确性。

二次电子

[单选题]用高能粒子从某种物质的表面撞击出原子的物理过程叫（）。

溅射