正确答案: ABCDE

加强工艺操作 加强人体和环境卫生 使用高纯化学试剂、高纯水和超净设备 采用HCl氧化工艺 硅片清洗后，要充分烘干，表面无水迹

题目：解决氧化层中的钠离子沾污的方法有（）。

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学习资料的答案和解析：

[多选题]超大规模集成电路需要光刻工艺具备的要求有（）。

高分辨率

高灵敏度

精密的套刻对准

大尺寸

低缺陷

[单选题]早期，研究离子注入技术是用（）来进行的。

重离子加速器

[单选题]电子束蒸发的设备中产生电子束的装置称为（）。

电子枪

[单选题]危害半导体工艺的典型金属杂质是（）。

碱金属

[多选题]电气测量技术的应用所以能在现代各种测量技术中占有重要的地位，是因为它具有很多优点，主要有：（）。

电气测量仪表的结构简单，使用方便

电气测量仪表有足够的准确度

电气测量仪表可以灵活地安装在需要进行测量的地方，并可实现自动记录

可以解决远距离的测量问题，为集中管理和控制提供了条件

能利用电气测量的方法对非电量（如温度、压力、速度、水位及机械变形等）进行测量