正确答案: A

液氮冷阱

题目：为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染，可在靶室前增加一个（）或采用无油泵。

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[单选题]在热扩散工艺中的预淀积步骤中，硼在900～1050℃的条件下，扩散时间大约（）为宜。

10～40min

[单选题]离子源腔体中的气体放电形成（）而引出正离子的。

等离子体

[单选题]目前，最广泛使用的退火方式是（）。

热退火

[多选题]在半导体工艺中，淀积的薄膜层应满足的参数包含有（）。

均匀性

表面平整度

自由应力

纯净度

电容

[单选题]沾污引起的电学缺陷引起（），硅片上的管芯报废以及很高的芯片制造成本。

成品率损失