正确答案: C

10～40min

题目：在热扩散工艺中的预淀积步骤中，硼在900～1050℃的条件下，扩散时间大约（）为宜。

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[单选题]当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。开始饱和的注入剂量称为（）。

临界剂量

[多选题]溅射的方法非常多其中包括（）。

A.直流溅射B.交流溅射C.反应溅射D.二级溅射E.三级溅射

[多选题]直流二极管辉光放电系统是由（）构成。

抽真空后再充入某种低压气体的玻璃管

两个电极