[单选题]在靶片前方设一抑制栅，作用是将（）抑制回去，从而保证测量的准确性。

正确答案 ：A

二次电子

[单选题]单晶硅刻蚀一般采用（）做掩蔽层，以氟化氢为主要的刻蚀剂，氧气为侧壁钝化作用的媒介物。

正确答案 ：B

二氧化硅

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