正确答案: ABCD

I-V转换 V-f转换 十进制计数电路 控制电路

题目：电荷积分仪的基本单元包括（）。

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[多选题]干氧氧化法具备以下一系列的优点（）。

生长的二氧化硅薄膜均匀性好

生长的二氧化硅干燥

生长的二氧化硅结构致密

生长的二氧化硅是很理想的钝化膜

生长的二氧化硅掩蔽能力强

[单选题]当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。饱和正是对应连续（）的形成。

非晶层

[多选题]晶片表面上的粒子是通过（）到达晶片的表面。

粒子扩散

从气体源通过强迫性的对流传送

化学反应

被表面吸附