正确答案: BD

成品率 电学性能

题目：沾污是指半导体制造过程中引入半导体硅片的任何危害微芯片（）的不希望有的物质。

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[单选题]离子源的基本结构是由产生高密度等离子体的（）和引出部分组成。

腔体

[多选题]在半导体工艺中，淀积的薄膜层应满足的参数包含有（）。

均匀性

表面平整度

自由应力

纯净度

电容