正确答案: B

薄膜成长

题目：下面那一种薄膜工艺中底材会被消耗（）。

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学习资料的答案和解析：

[单选题]固体中的扩散模型主要有填隙机制和（）。

空位机制

[单选题]在实际工作中，常常需要知道离子注入层内损伤量按（）的分布情况。

深度

[单选题]静电偏转电极和静电扫描器都是（）电容器。

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