正确答案: AE

高压氧化 等离子增强氧化

题目：（）的方法有利于减少热预算。

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[单选题]离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。

离子源

[多选题]离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。

砷化氢

二硼化氢

四氟化硅

三氟化磷

[单选题]请在下列选项中选出多晶硅化金属的英文简称：（）。