• [单选题]采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是()的。
  • 正确答案 :B
  • 非结晶形态


  • [多选题]二氧化硅层中的钠离子可能来源于()。
  • 正确答案 :ABCDE
  • 玻璃器皿

    高温器材

    人体沾污

    化学试剂

    去离子水


  • [多选题]二氧化硅薄膜厚度的测量方法有()。
  • 正确答案 :ABCDE
  • 比色法

    双光干涉法

    椭圆偏振光法

    腐蚀法

    电容-电压法


  • [单选题]下列哪些元素在硅中是快扩散元素:()。
  • 正确答案 :A
  • Na


  • [单选题]目前,最广泛使用的退火方式是()。
  • 正确答案 :A
  • 热退火


  • [单选题]为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染,可在靶室前增加一个()或采用无油泵。
  • 正确答案 :A
  • 液氮冷阱


  • [单选题]()是通过把被蒸物体加热,利用被蒸物在高温时的饱和蒸汽压来进行薄膜沉积的。
  • 正确答案 :A
  • 蒸镀


  • [多选题]电气测量技术的应用所以能在现代各种测量技术中占有重要的地位,是因为它具有很多优点,主要有:()。
  • 正确答案 :ABCDE
  • 电气测量仪表的结构简单,使用方便

    电气测量仪表有足够的准确度

    电气测量仪表可以灵活地安装在需要进行测量的地方,并可实现自动记录

    可以解决远距离的测量问题,为集中管理和控制提供了条件

    能利用电气测量的方法对非电量(如温度、压力、速度、水位及机械变形等)进行测量


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    推荐科目: 集成电路制造工艺员(三级)题库
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