[多选题]二氧化硅层中的钠离子可能来源于（）。

正确答案 ：ABCDE

玻璃器皿

高温器材

人体沾污

化学试剂

去离子水

[多选题]解决氧化层中的钠离子沾污的方法有（）。

正确答案 ：ABCDE

加强工艺操作

加强人体和环境卫生

使用高纯化学试剂、高纯水和超净设备

采用HCl氧化工艺

硅片清洗后，要充分烘干，表面无水迹

[单选题]在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，CA的含义是（）。

正确答案 ：A

化学增强

[单选题]静电偏转电极和静电扫描器都是（）电容器。

正确答案 ：D

平行板

[多选题]按加热源的不同，可以分成（）几种不同类型的蒸发。

正确答案 ：ABC

真空蒸发

离子束蒸发

电子束蒸发

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