正确答案: ABCDE

钟罩 蒸气源加热器 衬底加热器 活动挡板 底盘

题目：真空镀膜室是由（）几部分组成。

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[多选题]干氧氧化法具备以下一系列的优点（）。

生长的二氧化硅薄膜均匀性好

生长的二氧化硅干燥

生长的二氧化硅结构致密

生长的二氧化硅是很理想的钝化膜

生长的二氧化硅掩蔽能力强

[多选题]电气测量仪表若按照电流的种类来分，有（）。

直流仪表

交流仪表

交直流仪表