正确答案: ABC

真空蒸发 离子束蒸发 电子束蒸发

题目：按加热源的不同，可以分成（）几种不同类型的蒸发。

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[多选题]（）的方法有利于减少热预算。

高压氧化

等离子增强氧化

[多选题]微电子领域内，下列测厚仪中属于有台阶的测厚仪为（）。

台阶仪

干涉显微镜

光切显微镜

扫描电镜