[多选题]干氧氧化法具备以下一系列的优点（）。

正确答案 ：ABCDE

生长的二氧化硅薄膜均匀性好

生长的二氧化硅干燥

生长的二氧化硅结构致密

生长的二氧化硅是很理想的钝化膜

生长的二氧化硅掩蔽能力强

[单选题]He，OH，Na等元素在900℃下，在二氧化硅中的扩散率大于10－13cm2/s，这些元素称为（）。

正确答案 ：B

快速扩散杂质

[单选题]损伤的分布与注入离子在在靶内的（）的分布密切相关。

正确答案 ：A

能量淀积

[单选题]（）是通过把被蒸物体加热，利用被蒸物在高温时的饱和蒸汽压来进行薄膜沉积的。

正确答案 ：A

蒸镀

[多选题]净化室将硅片制造设备与外部环境隔离，免受诸如（）的沾污。

正确答案 ：ABCD

颗粒

金属

有机分子

静电释放（ESD）

[单选题]悬浮在空气中的颗粒称为（）。

正确答案 ：D

浮质

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