[多选题]油扩散泵上面加冷阱，其作用是（）。

正确答案 ：AD

防止扩散油分子回流到真空室

提高膜层附着力

[单选题]为使蒸发材料分子从蒸发源到达基板时基本不和残余气体分子发生碰撞，故真空室内真空度要到达10-3Pa以下，以满足（）条件

正确答案 ：B

B、气体分子平均自由程远大于蒸发距离

[单选题]在相同光斑大小和蒸发速率的情况下，AL2O3电子枪功率（）SiO2电子枪功率

正确答案 ：A

A、大于

[多选题]如果你镀出来一罩产品有的圈产品合格，有的圈产品不合格，与下列（）因素有关

正确答案 ：ABC

A、光斑不在中心位置

B、修正板变形

C、电子枪档板松掉

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