正确答案: B

均匀性

题目：刻蚀要求在整个晶圆上有一个均匀的刻蚀速率，（）是在晶圆上由测量刻蚀过程前后特定点的厚度，并计算这些点的刻蚀速率而得到的。

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[多选题]去正胶常用的溶剂有（）

丙酮

氢氧化钠溶液

丁酮

甲乙酮