正确答案: D

大

题目：引出系统要求能引出分散性较好的强束流，还希望具有较（）的气阻。

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[单选题]对于浓度覆盖很宽的杂质原子，可以采用（）方法引入到硅片中。

扩散

[单选题]He，OH，Na等元素在900℃下，在二氧化硅中的扩散率大于10－13cm2/s，这些元素称为（）。

快速扩散杂质