正确答案: D

平行板

题目：静电偏转电极和静电扫描器都是（）电容器。

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[单选题]下列哪些元素在硅中是快扩散元素：（）。

Na

[多选题]下列有关ARC工艺的说法正确的是（）。

ARC可以是硅的氮化物

可用干法刻蚀除去

ARC膜可以通过PVD或者CVD的方法形成

ARC在刻蚀中也可做为掩蔽层

ARC膜也可以通过CVD的方法形成

[多选题]以（）等两层材料所组合而成的导电层便称为Polycide。

多晶硅

硅化金属

[单选题]为了保证保护装置能可靠地动作，27.5A的接地电流只能保证断开动作电流不超过多少的继电保护装置。（）

18.3A