正确答案: B

离子源

题目：离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。

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学习资料的答案和解析：

[多选题]解决氧化层中的钠离子沾污的方法有（）。

加强工艺操作

加强人体和环境卫生

使用高纯化学试剂、高纯水和超净设备

采用HCl氧化工艺

硅片清洗后，要充分烘干，表面无水迹

[多选题]树脂使用过程中需保持一定温度，阳树脂和阴树脂分别不能高于（）度，使用温度不能过低，低于0度会使树脂冻裂。

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