[单选题]当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。开始饱和的注入剂量称为（）。

正确答案 ：A

临界剂量

[单选题]（）是以物理的方法来进行薄膜沉积的一种技术。

正确答案 ：D

PVD

[多选题]在对层间绝缘膜进行CMP时，层间绝缘膜的表面会随下列那些因素产生变化（）。

正确答案 ：ABCDE

电路图形结构的凹凸

尺寸大小

位置分布

高度

密集程度

[单选题]阳树脂用盐酸做再生液，浓度为（）溶液可用原水配制。

正确答案 ：B

10%

[多选题]静电释放带来的问题有哪些（）。

正确答案 ：CDE

芯片产生超过1A的峰值电流

栅氧化层击穿

吸引带电颗粒或极化并吸引中性颗粒到硅片表面

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