正确答案: A

临界剂量

题目：当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。开始饱和的注入剂量称为（）。

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[多选题]关于正胶和负胶在显影时的特点，下列说法正确的是（）。

正胶的感光区域溶解

负胶的感光区域不溶解

负胶的非感光区域溶解

[单选题]损伤的分布与注入离子在在靶内的（）的分布密切相关。

能量淀积

[单选题]薄膜沉积的机构，依发生的顺序，可以分为这几个步骤。其中不包括（）。

晶粒自旋

[单选题]复合床和混合床可以串联使用。复合床就是指将阳树脂和阴树脂分别装在两个（）内串接起来。

交换柱