正确答案: ABCDE

入射离子的能量 入射离子的质量 入射离子的原子序数 靶原子的质量、原子序数、原子密度 注入离子的总剂量

题目：对于非晶靶，离子注入的射程分布取决于（）。

查看原题 查看所有试题

学习资料的答案和解析：

[单选题]钠、钾等大离子在二氧化硅结构中是（）杂质。

间隙式

[多选题]二氧化硅薄膜厚度的测量方法有（）。

比色法

双光干涉法

椭圆偏振光法

腐蚀法

电容-电压法

[单选题]（）主要是以化学反应方式来进行薄膜沉积的。

CVD