正确答案: B

烘烤可以减轻曝光中的驻波效应

题目：下列关于曝光后烘烤的说法正确的是（）。

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[多选题]（）的方法有利于减少热预算。

高压氧化

等离子增强氧化

[多选题]二氧化硅层中的钠离子可能来源于（）。

玻璃器皿

高温器材

人体沾污

化学试剂

去离子水