正确答案: ABC

等离子体蚀刻系统的形态 等离子体蚀刻的参数 光刻胶

题目：影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面（）。

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[单选题]抛光液溶液的酸碱性一般为（）。

酸性

[多选题]调整清洁的目的（）。

清洁孔内壁

整孔

[单选题]从理论上说，测量电极电位是把待测的电极电位与（）的电极电位加以比较得出的。

标准氢电极

[单选题]彩色钝化膜的处理方法很多，有低浓度、中等浓度和高浓度的铬酸盐处理液。但是，考虑到环境保护，减少重金属铬污染，（）钝化工艺被广泛地使用。

低浓度铬酸盐