正确答案: ABCDE

比色法 双光干涉法 椭圆偏振光法 腐蚀法 电容-电压法

题目：二氧化硅薄膜厚度的测量方法有（）。

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[单选题]一般分析扩散系数，考虑两种条件，即恒定表面浓度条件和（）。

恒定总掺杂剂量

[多选题]下列组合中哪一种基本上用于刻蚀前者的干刻蚀法大都可以用来刻蚀后者（）。

二氧化硅氮化硅

铝硅

[单选题]电气测量仪表中，整流式对电流的种类与频率的适用范围是（）。

工频及较高频率的交流