[单选题]采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是（）的。

正确答案 ：B

非结晶形态

[多选题]二氧化硅薄膜厚度的测量方法有（）。

正确答案 ：ABCDE

比色法

双光干涉法

椭圆偏振光法

腐蚀法

电容-电压法

[单选题]He，OH，Na等元素在900℃下，在二氧化硅中的扩散率大于10－13cm2/s，这些元素称为（）。

正确答案 ：B

快速扩散杂质

[单选题]电离气体与普通气体的不同之处在于：后者是由电中性的分子或原子组成的，前者则是（）和中性粒子组成的集合体。

正确答案 ：D

带电粒子

[单选题]（）是与气体辉光放电现象密切想关的一种薄膜淀积技术。

正确答案 ：C

溅射

[单选题]金相学的研磨之所以会在研磨面上造成如刮伤般的痕迹是由于在制程中（）。

正确答案 ：B

使用羊毛研磨垫

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