正确答案: BCE

正胶的感光区域溶解 负胶的感光区域不溶解 负胶的非感光区域溶解

题目：关于正胶和负胶在显影时的特点，下列说法正确的是（）。

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[单选题]当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。开始饱和的注入剂量称为（）。

临界剂量

[单选题]分析器是一种（）分选器。

离子

[单选题]有机性气体大多产生在下列哪道工艺（）。

光刻