正确答案: BC

多晶硅 硅化金属

题目：以（）等两层材料所组合而成的导电层便称为Polycide。

查看原题 查看所有试题

学习资料的答案和解析：

[单选题]干氧氧化法有一些优点，但同时它的缺点有（）。

氧化的速度慢

[多选题]二氧化硅薄膜厚度的测量方法有（）。

比色法

双光干涉法

椭圆偏振光法

腐蚀法

电容-电压法

[单选题]当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。开始饱和的注入剂量称为（）。

临界剂量